液环真空泵系统在汽车半导体的强势应用

作为新能源汽车及其他工业领域重要的基础性产品，功率半导体具有安全、环保、高效、低耗等优势。半导体行业中的蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀，真空吸附，测试设备，机械手，自动化真空清扫等键合工序里所需用真空为生产真空（中高真空）；清扫真空（粗真空）；工艺真空（粗真空）。
真空泵系统在汽车半导体的强势应用，从IGBT，SiC碳化硅，到汽车组件配套项目，不但性能优越，而且安全可靠，确保365天连续无休运行。

部分还有要求真空泵向被抽空间内的返流为零，以保护工件免受污染。工艺真空主要利用负压吸附进行工件搬运或夹持，清扫真空主要利用负压与大气压差进行液体或颗粒的清除或输送，此类应用中液环真空泵和多级离心风机是非常关键的生产辅助设备。
半导体行业的工艺特性，要求系统绝对无油，对设备的稳定性和可靠性要求也比较高。
恒才机电进口液环真空泵安全可靠，100%无油，完全满足半导体行业的工艺真空要求。

株洲中车时代电气拥有一流的功率半导体生产线，形成从设计、制造、封装与测试等全套能力。其中总投资35亿元的株洲中车时代电气汽车组件配套建设项目，选用了2套液环真空系统，目前设备安装调试完毕，机组运行稳定。该项目全部产能将用于新能源汽车用基材及组件生产，整体提升了时代电气功率半导体工艺平台及生产制造能力，满足新能源汽车领域巨大市场需求，进一步做大做强做优功率半导体产业。